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A200便携式氦质谱检漏仪

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A200便携式氦质谱检漏仪

发布日期:2018-07-01 00:00 来源:http://finca-luna.com 点击:

A200便携式氦质谱检漏仪

  ( 灵敏度高、操作便捷、低维护

 

A200便携式氦质谱检漏仪广泛应用于科研院所、航空航天、动力锂电池,阀门、精密仪表、机械加工、电力、电厂、光伏、真空镀膜、真空热处理等。

A200支持正压检漏,负压检漏,自动跟踪本底,提供快速可靠的测量结果,优化设计的质谱系统和智能算法确保在所有量程快速响应,高可靠性的真空系统和质谱系统确保快速清氦,支持氮气破空,不受环境氦气干扰,快速降低本底,机器卓越的性能支持7*24小时长时间在线测试,机器卓越的性能支持几秒一次的高频率测试,配有检漏口精细过滤器,过滤细微杂质,确保机器不受杂质影响和损伤,双铱丝离子源,有效的系统设计,防大气冲击,支持定制检漏工作台,更加便捷使用。

 

A200.png

 图1:A200便携式氦质谱检漏仪

 

一、技术规格

 

项目

描述

可检测气体

4He

Z小可检测漏率

真空法

<5x10-13pa.m3/s5x10-12mbar.L/s

吸枪法

<1x10-8pa.m3/s1x10-7mbar.L/s

检测模式

Gross(粗检), Fine(精检), Ultra(超精检)

检测方法

真空(Vacuum),吸枪(Sniff)

入口法兰

KF25

Z大入口压力

粗检:15mbar

精检:2mbar

超精检:0.4mbar

分子泵抽速

2.5l/s (SplitFlow 80)

前级泵抽速

1.8m³/h旋片泵,内置

响应时间

真空(63% signal1s

吸枪(3m):<1s

自检

支持,内置漏,带证书

工作温度

 10 ~ 40

工作电压

115/230 VAC, 50/60 Hz

重量

45kg

功耗

400W

尺寸(mm

523 x510 x297

二、应用领域(Application Scenarios)

◆科学研究:

Electron microscopy – 电子显微镜

Mass spectrometry – 质谱

Surface analysis – 表面分析

Plasma monitoring – 等离子体监测

Residual gas analysis – 残余气体分析

...

半导体

Lithography锂电池

PVD /CVD

Plasma etching等离子刻蚀

MBE 分子束外延

镀膜

Hard disk coating – 硬盘镀膜

Photovoltaics – 光伏

Glass coating (PVD) – 玻璃镀膜

Optical coating (PVD) – 光学镀膜

Wear protection (PVD, CVD) –硬质涂层

Web coating – 卷绕镀膜

◆工业

Medical technology – 医学技术

Industrial leak detection – 工业检漏

Electron beam welding – 电子束焊接

Lamp /tube manufacturing – 灯管制造

Automobile –汽车制造

Aerospace-航天航空

科学研究

Nuclear research – 核研究

Fusion technology – 聚变技术

Plasma research – 等离子研究

Nanotechnology – 纳米技术

Biotechnology – 生物技术

 

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